指導教員
専門分野
- 薄膜工学
過去の指導学生の修士論文題目
◎令和5年度
- ZnO/Al2O3界面におけるアニール時のZnAl2O4生成過程の評価
◎令和4年度
- GaドープZnO透明導電膜用スパッタターゲット作製における本焼結条件の検討
- ガラス基板上ZnO薄膜のTEM観察用試料への加工プロセスの検討
◎令和2年度
- サファイア基板上ZnO薄膜におけるZnAl204生成のアニール温度依存性の評価
◎令和元年度
- RFマグネトロンスパッタリング法を用いたGaドープZnO(GZO)透明導電膜の作製と評価
- DCマグネトロンスパッタ法による(Bi,Pb)2223超伝導薄膜の厚膜化とその特性評価
- MOD法によるYBa2Cu3O7-δ超伝導薄膜の作製及び評価
- DCマグネトロンスパッタリング法によるSm添加YBCO超伝導薄膜の作製と評価